Hybride Feinstreinigung - vollautomatisiert und verkettet

HEMO GmbH

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Komponenten für die Hochvakuumtechnik unterliegen strengsten Anforderungen an den Sauberkeitsgrad. Eine vollautomatisierte Teilereinigungslinie, bestehend aus fünf über ein Shuttlesystem verketteten Einzelanlagen, entfernt Verunreinigungen bis in den Bereich weniger Atomlagen. 

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