TROCKENES VERDICHTUNGSPRINZIP
Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
In den Sputteranlagen zur Abscheidung von Absorberschichten auf Metallbändern setzt ein Beschichtungsdienstleister zur Aufrechterhaltung des Vorvakuums anstelle ölgeschmierter Pumpen seit kurzem Schrauben-Vakuumpumpen ein. Die „trockene“ Verdichtungstechnik bringt insbesondere in puncto Betriebssicherheit erhebliche Vorteile.