TROCKENES VERDICHTUNGSPRINZIP

Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH

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In den Sputteranlagen zur Abscheidung von Absorberschichten auf Metallbändern setzt ein Beschichtungsdienstleister zur Aufrechterhaltung des Vorvakuums anstelle ölgeschmierter Pumpen seit kurzem Schrauben-Vakuumpumpen ein. Die „trockene“ Verdichtungstechnik bringt insbesondere in puncto Betriebssicherheit erhebliche Vorteile. 

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