Nano-Partikel im Blick
Dr. Rolf Treichler
Reinigungsprozesse in der Bauelement-Fertigung der Halbleiter- und Elektronikindustrie erfordern hohe Präzision und besondere Kontrollmethoden. Strenge Sauberkeitsvorgaben sichern die Qualität im Herstellungsprozess und zugleich die langfristige Stabilität der Halbleiter. Das Monitoring und die zielgenaue Identifikation von Verunreinigungen spielen dabei eine immer größere Rolle.