Schichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften

Dr. Carsten Bundesmann

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Neue Erkenntnisse zeigen, dass das Ionenstrahlsputtern bisher unbekannte Möglichkeiten bietet, die Eigenschaften dünner Schichten durch gezielte Wahl der Prozessparameter über einen weiten Bereich maßzuschneidern. 

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