Mikroskopie: Zwei Verfahren in einem Gerät
Anja Schué
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Für die präzise und schnelle berührungslose Vermessung von Oberflächen stehen zwei Verfahren zur Auswahl: Interferometrie und Konfokalmikroskopie. Jetzt gibt es ein Messmikroskop, das beide Verfahren kombiniert.