Mikroskopie: Zwei Verfahren in einem Gerät
Anja Schué
Für die präzise und schnelle berührungslose Vermessung von Oberflächen stehen zwei Verfahren zur Auswahl: Interferometrie und Konfokalmikroskopie. Jetzt gibt es ein Messmikroskop, das beide Verfahren kombiniert.