Prozessbegleitender Nachweis ultradünner Beschichtungen

Benedikt Hauer

img

Infrarotmesstechnik bietet eine Möglichkeit, ultradünne Beschichtungen deutlich unter 100 nm Dicke schnell, genau und zerstörungsfrei nachzuweisen und zu vermessen. Im Gegensatz zu anderen Methoden ist dies auch auf dreidimensional geformten Oberflächen möglich und kann leicht zu einer parallelisierten Prozessüberwachung in der Linie ausgebaut werden. 

Dieser Inhalt steht nur registrierten und eingeloggten Abonnenten zur Verfügung.


Sie sind noch kein Abonnent von JOT – Journal für Oberflächentechnik?

Sichern Sie sich jetzt alle Vorteile!

Alle Fachartikel der Ausgabe 1/2023