Zuverlässige Messung filmischer Verunreinigungen
Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Markus Rochowicz
Schon kleinste Mengen filmischer Verunreinigungen sorgen in der Fertigung für empfindliche Störungen. Daher spielt eine zuverlässige Prüfung der Oberflächen eine bedeutende Rolle. Der Beitrag stellt verschiedene Ansätze zur Sauberkeitskontrolle und deren Anwendung in der Praxis vor.