Schnelle optische Vermessung von Mikrostrukturen auf tellergroßen Flächen

Dr. Tobias Beckmann

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Die digitale Holographie liefert mikrometergenaue Höhenkarten von Oberflächen mit der Ortsauflösung moderner Kameras. Seit einiger Zeit wird diese Messtechnik zur Qualitätsprüfung in der industriellen Fertigung eingesetzt. Jetzt wurde ein neues System entwickelt, das Defekte von wenigen Mikrometern Höhe und Breite sekundenschnell auf tellergroßen Flächen erkennen und vermessen kann.  

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