Oberflächenintegrierte Dünnschichtsensoren
Dr. Ralf Bandorf
Für eine vernetzte Kommunikation innerhalb von Produkten, Prozessketten und Fabriken bieten Dünnschichtsensoren vielfältige Möglichkeiten zur Integration von sensorischen Funktionen, wie Kraft-, Druck-, Dehnungs- und Temperaturmessung, in bestehende Bauteile.