Neue Produktionstechnik für leitfähige Schichten auf Glas
Dr. Bernd Szyszka
Das Hochleistungs-Impuls-Magnetronsputtern (HiPIMS) von Indium-Zinnoxid-Schichten (indium tin oxide — ITO) ist eine neue Produktionstechnik für die Herstellung dünner, transparent leitfähiger ITO-Schichten mit besserem Verschleißverhalten als Floatglas. Die Technologie ermöglicht Innovationen wie beschlag- und vereisungshemmendes Automobil- und Architekturglas, widerstandsfähige Wärmespiegel für neue solar-thermische Konzepte oder transparente Elektroden für optoelektronische Bauteile.