Integriertes Plasma-Monitoring
Thomas Struppert
Spektroskopisches Plasma-Monitoring ist eine Technik zur produktionsintegrierten Prozess- und Qualitätskontrolle im Bereich der Atmosphärendruck-Plasmaanwendungen. Durch das kontaktfreie Setup werden die ablaufenden Prozesse nicht beeinträchtigt. Mehrkanal-Systeme ermöglichen auch die Überwachung von großflächigen Anwendungen.