Hochionisierte Abscheideverfahren für Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

Dr. Ralf Bandorf

img

Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Hochionisiertes Magnetronsputtern bietet hier die Möglichkeit, glatte Schichten mit sehr guten Eigenschaften zu realisieren. 

Dieser Inhalt steht nur registrierten und eingeloggten Abonnenten zur Verfügung.


Sie sind noch kein Abonnent von JOT – Journal für Oberflächentechnik?

Sichern Sie sich jetzt alle Vorteile!

Alle Fachartikel der Ausgabe 1/2019