Hochionisierte Abscheideverfahren für Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

Dr. Ralf Bandorf

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Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Hochionisiertes Magnetronsputtern bietet hier die Möglichkeit, glatte Schichten mit sehr guten Eigenschaften zu realisieren. 

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