Atomic Layer Deposition

Dr. Bernd Szyszka

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Die Bauteilbeschichtung mit ALD (Atomic Layer Deposition) ist ein besonders leistungsfähiges CVD-Beschichtungsverfahren, das auch komplexeste 3D-Geometrien mit Hinterschneidungen oder Bohrungen defektarm beschichten kann. Die Methode ist reproduzierbar und äußerst präzise. Durch die Möglichkeit der parallelen Beschichtung bleiben die Kosten dennoch im Rahmen. 

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