Atomic Layer Deposition
Dr. Bernd Szyszka
Die Bauteilbeschichtung mit ALD (Atomic Layer Deposition) ist ein besonders leistungsfähiges CVD-Beschichtungsverfahren, das auch komplexeste 3D-Geometrien mit Hinterschneidungen oder Bohrungen defektarm beschichten kann. Die Methode ist reproduzierbar und äußerst präzise. Durch die Möglichkeit der parallelen Beschichtung bleiben die Kosten dennoch im Rahmen.