Technische Sauberkeit auf höchstem Niveau
Gerhard Koblenzer
Bei der Produktion von Halbleitern sind Systeme erforderlich, deren Bauteile und Komponenten nahezu keine filmischen oder partikulären Verschmutzungen aufweisen. Es ist also Technische Sauberkeit auf höchstem Niveau in allen Ebenen und Prozessen gefragt. Wie dies gelingen kann, zeigt ein aktuelles Anlagenprojekt.