Schichteigenschaften methodisch charakterisieren
Alexander Peters
Herkömmliche Bestimmungsverfahren in der Oberflächentechnik stoßen an ihre Grenzen, wenn ein Elektrolythersteller seine Schichten charakterisieren will. Manche Methoden werden mit abnehmender Schichtdicke und bei mehrlagigen Systemen zunehmend unzuverlässiger oder unbrauchbar. Es gilt, Methoden zu entwickeln, die präzisere Vorhersagen zum Schichtverhalten zulassen.