Filmische Verunreinigungen von 100 mg bis 10 ng messen

Christian Worsch

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Ein neues Sauberkeitsmessgerät ermöglicht eine spektrale und quantitative Messung von filmischen Verunreinigungen auf Bauteiloberflächen. Dabei wird der Effekt der vakuuminduzierten Desorption genutzt. Das mobile und kompakte Gerät ist vielseitig einsetzbar. 

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