Integriertes Plasma-Monitoring

Thomas Struppert

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Spektroskopisches Plasma-Monitoring ist eine Technik zur produktionsintegrierten Prozess- und Qualitätskontrolle im Bereich der Atmosphärendruck-Plasmaanwendungen. Durch das kontaktfreie Setup werden die ablaufenden Prozesse nicht beeinträchtigt. Mehrkanal-Systeme ermöglichen auch die Überwachung von großflächigen Anwendungen. 

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