Sauber und ausgasarm — aber wie?
Michael Flämmich
Gerade auch bei Edelstahlkomonenten für die Vakuumtechnik ist für eine sichere Prozessführung die Messung der erreichten Reinheit erforderlich. Ein hochempfindliches Verfahren ist das Messen von Adsorbaten an den Oberflächen durch Restgasanalyse im Vakuum.