26.02.2020
Effiziente Wärmebehandlung großflächiger Substrate
Zur gezielten Optimierung von Materialeigenschaften dünner Schichten wird häufig auf Wärmebehandlungen zurückgegriffen. Allerdings sind diese sogenannten Temperprozesse energie- und zeitintensiv und mit großen Anlagenfootprints verbunden, was ihre Anwendbarkeit für großflächige Substratformate erschwert oder verhindert. Eine Alternative bietet das Flash Lamp Annealing. Mehr
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