Effiziente Wärmebehandlung großflächiger Substrate
Zur gezielten Optimierung von Materialeigenschaften dünner Schichten wird häufig auf Wärmebehandlungen zurückgegriffen. Allerdings sind diese sogenannten Temperprozesse energie- und zeitintensiv und mit großen Anlagenfootprints verbunden, was ihre Anwendbarkeit für großflächige Substratformate erschwert oder verhindert. Eine Alternative bietet das Flash Lamp Annealing.